SIASUN TSS-3000 EFEM (TSS-3000)

Mover una oblea de silicio sin que una sola partícula la toque es un trabajo que se decide en milímetros y en el flujo de aire. El SIASUN TSS-3000 EFEM (TSS-3000) se ubica justamente en ese punto: es el módulo frontal que recibe la carga y la entrega al proceso con precisión de posicionamiento y con un diseño pensado para la limpieza.

Robots Latin America ofrece el SIASUN TSS-3000 EFEM (TSS-3000) a clientes de la región. Robots Latin America cotiza el equipo, coordina su entrega y brinda el soporte correspondiente.

Antecedentes

SIASUN y su línea de equipos

SIASUN es una marca de robótica con un catálogo amplio que abarca robots móviles, soluciones de automatización y máquinas de corte láser. Dentro de ese conjunto, el TSS-3000 pertenece al segmento de transferencia de obleas para la industria de semiconductores. Puede conocer otros equipos de la marca en la categoría SIASUN.

Posicionamiento y tecnología clave

Un EFEM es un equipo frontal de transferencia de obleas y un sistema de interfaz compatible con los estándares SEMI. Puede operar con carga manual o en combinación con MR u OHT para el transporte horizontal de obleas. El TSS-3000 emplea un manipulador de doble brazo con eje externo, que realiza la toma y colocación mediante el movimiento combinado de dos ejes. Según el fabricante, esto aumenta la eficiencia de transferencia y reduce el costo de mantenimiento, con una huella reducida.

Los componentes principales, como el manipulador atmosférico, el aligner, el SMIF y el buffer, son de desarrollo propio de SIASUN. En su interior, una nueva estructura de guiado de gas permite una limpieza de espacio interno que cumple con ISO Class 1. Además, cuenta con múltiples enclavamientos de protección, desde el software hasta el hardware, para resguardar la transferencia, al personal y al equipo.

Especificaciones técnicas

Especificaciones según las publica el fabricante; se confirman contra la hoja de datos al momento de la cotización.

El fabricante no ha publicado los tamaños de oblea compatibles, la cantidad de puertos de carga, los requisitos eléctricos, los requisitos de aire comprimido o vacío, la interfaz de comunicación ni el contenido de la caja; todo ello se confirma al cotizar.

¿Qué distingue al TSS-3000 por su diseño interno?

Su diseño combina tres elementos que el fabricante destaca: un manipulador de doble brazo con eje externo, un flujo de gas interno rediseñado para alcanzar ISO Class 1 y enclavamientos múltiples de software y hardware. La huella es compacta, con 2100*750*2500 mm, y la precisión de colocación es de ±0,1 mm en posición y ±0,2° en ángulo.

¿Se puede adaptar el equipo a una necesidad específica?

Sí. El fabricante indica que es posible realizar personalizaciones no estándar según los requisitos reales del usuario. Como los componentes principales son de desarrollo propio, SIASUN controla el diseño de las piezas que más influyen en la estabilidad. Los alcances de cada adaptación se definen durante la cotización.

¿Para quién es el SIASUN TSS-3000 EFEM?

Está dirigido a fabricantes y laboratorios de semiconductores que necesitan un módulo frontal compatible con SEMI, a integradores de equipos de proceso que requieren una interfaz de carga con limpieza ISO Class 1 y a plantas que trabajan con transporte automatizado MR u OHT o con carga manual. En la ficha también figura el TSS-2000 como versión de la línea, pero no hay datos para compararlo, por lo que le recomendamos consultar a nuestro equipo.

¿Para qué se usa el SIASUN TSS-3000 EFEM?

1. Transferencia de obleas: traslada obleas desde la carga hasta el equipo de proceso.
2. Interfaz SEMI: actúa como sistema de interfaz compatible con los estándares SEMI.
3. Carga manual: admite el manejo manual del contenedor.
4. Integración con MR u OHT: recibe obleas del transporte automatizado horizontal.
5. Entorno limpio: mantiene el espacio interno en ISO Class 1.
6. Posicionamiento preciso: coloca la oblea con ±0,1 mm y ±0,2°.

Precios y disponibilidad

No publicamos precios: la cotización es el camino para conocer condiciones comerciales. La entrega, los trámites aduaneros y el soporte se coordinan junto con la cotización a través de Robots Latin America. Puede solicitar la cotización del SIASUN TSS-3000 EFEM (TSS-3000) desde el botón disponible en esta página.

Preguntas frecuentes

¿Qué es un EFEM?

Es un equipo de transferencia frontal de obleas, con una interfaz compatible con los estándares SEMI.

¿Qué clase de limpieza ofrece?

El diseño interno cumple con ISO Class 1 y figura como class 1.

¿Qué precisión de colocación tiene?

±0,1 mm en posición y ±0,2° en ángulo.

¿Cuánto mide y pesa?

Mide 2100*750*2500 mm y pesa ≤1100 kg.

¿Admite carga manual o automatizada?

Sí, funciona de forma manual o junto con MR u OHT.

¿Se puede personalizar?

Sí, el fabricante admite adaptaciones no estándar según la necesidad del usuario.

¿Dónde puedo comprar el SIASUN TSS-3000 EFEM (TSS-3000) y cuánto cuesta?

Puede adquirirlo a través de Robots Latin America. El valor se informa en la cotización, según la configuración requerida.

Resumen

El SIASUN TSS-3000 EFEM (TSS-3000) resuelve el tramo en el que una oblea debe pasar de la carga al proceso sin contaminarse ni desviarse. Reúne manipulador de doble brazo, limpieza ISO Class 1, precisión de ±0,1 mm y enclavamientos múltiples. Para evaluar su incorporación, esta página es el punto de partida.